国别厂家：日本 日立公司
启用日期:2019-01-11
规格型号: Regulus 8100
主要技术指标:
二次电子分辨率：0.8 nm（加速电压15 kV）
1.1 nm（加速电压1 kV）
放大倍数： ×20 至 ×1000k
仪器特点和应用范围:
1. 通过检测电子束激发样品产生的二次电子、背散射电子以及X射线等信号，可以获得样品微区形貌及成分等信息。可用于金属、陶瓷、半导体、矿产等多种材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等。
2. 具有低位、高位二次电子探测器，高位过滤背散射探头。可选择二次电子像、背散射电子像、混合像。
3. 100mm直径大样品交换仓，可快速换样。
联系人:虞一青
email: yyq@suda.edu.cn
