微纳加工平台及微纳加工共性技术

报告题目：微纳加工平台及微纳加工共性技术

报告人：曾中明  研究员

报告时间：2024年11月20日19:00-20：00

报告地点：腾讯会议：137-891-924

报告摘要：微纳加工技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础，是衡量国家高端制造业水平的标志之一。未来信息芯片、新型装备、光电器件等纳米器件的研究离不开先进的微纳加工技术，本报告首先介绍国内规模宏大的微纳加工平台，然后介绍一些典型芯片的微纳加工技术。加工平台为企业、院校提供微纳加工、封装、测试等全流程服务，助力科研突破和产品研发。

报告人简介：曾中明，现任中国科学院苏州纳米所研究员、博导，纳米加工平台主任。 2000年于中南大学获学士学位，2006年于中国科学院物理研究所磁学国家重点实验室获博士学位，并入选院优秀博士学位论文。2012年1月加入苏州纳米所，入选国家高层次人才特殊支持计划、中国科学院“率先行动”引才计划、江苏省“双创人才”、江苏省“双创团队”和江苏省“333人才工程”第二层次等。获北京市科学技术一等奖、中国科学院青年科学家国际合作伙伴奖。

回国以来一直致力于新型信息功能器件、纳米智能器件及微纳加工技术研究。承担了国家重点研发计划项目、国家自然科学基金重点及面上项目、金砖国家国际合作项目、王宽诚国际创新团队项目等，累计经费逾5000万元。在Nature、Adv. Mater.、Phys. Rev. Lett.、Nat. Commun. 等期刊上发表SCI论文200余篇。参与编写中英文专著各一章，获美国、日本和中国授权发明专利30余项。应邀在APS、MMM、IcAUMS、IUMRS-ICAM等国际学术会议上作特邀报告10余次。现任国家纳米专业标准委员会委员、高新技术企业认定技术专家、国家新材料计量专家、中国材料研究学会智能传感功能材料与器件分会常务委员、江苏省物理学会电磁材料与器件委员。